真空泵种类的分类挺复杂的，基本可以分为气体传输泵与气体捕集泵。其中气体传输泵分为容积式真空泵与动量传输式真空泵（和鼓风机有点像）。然后容积式中又有往复泵、旋转式真空泵（这个是个大类，下面又有油封泵，旋片滑阀都是油封泵，还有液环泵、罗茨泵、螺杆泵、爪泵、涡旋泵等）。动量传输式中有分子泵、射流泵等，它们底下又有几种，像涡轮分子泵、牵引分子泵，复合分子泵，喷射泵、扩散泵。

气体捕集泵主要就是吸附泵与低温泵，底下也有很多小类，像溅射离子泵、升华泵、钛泵、吸附阱、吸气剂泵、冷凝泵、制冷剂低温泵等等。

因为各种泵的原理材质问题，工作压力段不同，最简单的有些能在大气压下工作，有些就必须组成机组（像普通的罗茨泵、分子泵、扩散泵等），不然无法启动。有些能抽大量水汽，像喷射泵、液环中的水环，但油泵就很麻烦，有些能抽一定的颗粒气体，像一些干泵，但往复泵就不行。

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